什么是潔凈室？潔凈室的狀態(tài)可分為幾種？
發(fā)布時間：2017-01-03 閱覽次數(shù)：1580 次
什么是潔凈室？潔凈室的狀態(tài)可分為幾種？
潔凈室也稱無塵室。它是污染控制的基礎，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在fed-std里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾，分配，優(yōu)化構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則操程序用于控制空氣懸浮粒度。從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空間 范圍內空氣中的微粒子，有害空氣。細菌等污染物排出，并將室內溫度，潔凈度，室內壓力氣流速度與氣流分布，噪聲振動及照明，靜電控制在需求范圍內而特別設計的房間。即 不論外在空氣條件如何變化，室內均能具有維持原先所設定要求的潔凈度，溫濕度及壓力等性能。
潔凈室最主要的作用在控制產品如硅芯片等所接觸的大氣潔凈度以及濕濕度，使產品能在一個良好的環(huán)境空間中被生產，制造此空間稱為潔凈室。按照國家國際慣例無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一?；覊m，而是控制在一個非常數(shù)量的單位上。當然這個標準中負合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經小的微乎其微，但是對于光學產品而言，哪怕一點點灰塵都會產生非常大的負面影響，所以光學構造產品的生產上無塵是必然的要求。
將每立方米徑小于0.3um的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的a級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于a級，這樣的高標準主要被運用在一些高級的芯片的生產上，粒徑在5um級以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業(yè)內俗稱的ik級別。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種，
（1）空態(tài)；已經建造完成并可以投入使用的潔凈室設施，它具備所以相關的服務和功能，但是在設施內沒有操作人員操作設備。
（2）靜態(tài)；各種功能完備，設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室設施，但是設施內沒有操作人員。
（3）動態(tài)；處于正常使用的潔凈室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要可從事正常的工作。
